st-500低温真空探针台（真空低温技术）

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• 1、真空高温射频探针台

真空高温射频探针台

按应用及测试环境分类： 高频、射频及微波测试探针台：适用于高频、射频及微波环境的测试。 高/低温环境测试探针台：能在高温或低温环境下进行测试。 高/低温真空环境测试探针台：在高/低温真空环境下进行测试。 低电流测试探针台：适用于fA级别的低电流测试。 IC/IV/pIV测试探针台：用于进行IC、IV和pIV测试。

高频、射频及微波测试探针台：用于高频、射频及微波器件的测试。高/低温环境测试探针台：能在高/低温环境下进行测试。高/低温真空环境测试探针台：在高/低温真空环境下进行测试。低电流测试探针台：适用于fA级低电流测试。IC/IV/pIV测试探针台：用于进行IC、IV及pIV测试。

DCH系列高低温真空探针台具备防辐射屏和热沉设计，可有效降低测试过程中的热干扰。降温速度快，常温降至77K仅需25分钟，大大提高了测试效率。同时，该探针台还配备液氮自动控制系统，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度，确保测试的准确性。

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。其目的是确保产品质量及可靠性，同时减少研发时间和器件制造工艺的成本。

高低温探针台T8-LY100提供80K-420K低温环境，用于半导体芯片电学参数测试。该设备技术指标包含：真空腔体直径约260mm，带有4英寸高透射观察窗，材质熔融石英，样品载台直径为50mm，平整度小于5微米，样品台直径也是50mm，移动范围为±25mm。其温度范围为80K-420K，控温精度为0.1-0.5K，采用液氮制冷。

温控探针冷热台是为液晶研究设计的，为了给样品施加电厂或测量样品的型号，在常规设备的基础上增加了内部电极，并配有液晶池和专用送样器。同时由于热台腔室的密闭性，可以控制腔室里的环境氛围，如湿度、真空或通入内部气体，并可将热态与红外及X射线衍射设备联用。